什么是SEMI F57认证标准,对高纯PFA管有什么要求?

2024-08-15

一、什么是SEMI F57认证标准?




SEMI是国际半导体产业协会,主要为半导体制程设备提供一套实用的环保、安全和卫生准则,适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。




SEMI (国际半导体产业协会) 是全球性的产业协会,致力于促进微电子、平面显示器及太阳能光电等产业供应链的整体发展。会员涵括上述产业供应链中的制造、设备、材料与服务公司,是改善人类生活质量的核心驱动力。自1970年,SEMI不断致力于协助会员公司快速取得市场信息、提高获利率、创造新市场、克服技术挑战。




目前在SEMI系列规范中,SEMI F57认证标准:用于超纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及其组件规格,是直接从材料选择、生产过程、产品结构设计等方方面面进行规范和建议的文件,SEMI F57认证标准规定了适用于在超纯水分配系统中输送超纯水的超高纯度UHP)聚合物材料和部件的最低性能要求,针对聚合物材料和组件的性能和验证。




二、SEMI F57标准适用产品




SEMI F57标准适用的主要产品类别有:




1.半导体超纯水和液态化学品传送系统中的聚合物材料、组件及过程设备;




2.管道、配件、阀门、过滤壳体、压力传感器、流量计、计量器、校准器。




三、什么是高纯PFA管




高纯PFA管是一种以高纯PFA为原料制成的管道材料,比如大金211sh、大金231sh、杜邦451hp、杜邦951hpplus(超高纯)等型号的pfa原料。PFA是聚氟乙烯共聚合物的一种,它具有与PTFE类似的优异性能,如高耐化学性、低摩擦系数、优异的电气绝缘性、耐高温性等。高纯PFA管在高温和腐蚀环境下表现出色,并且具有较好的可加工性,可用于制造复杂的管道系统。比如三氟莱的高纯PFA管及PFA接头均符合SEMI F57标准。

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四、为什么半导体PFA超纯管要进行SEMI F57认证?




随着半导体先进工艺对超纯水和超纯化学品纯度的日益增长需求,用于这些超纯物质运输和储存的系统和部件必须避免引入污染。尽管超纯水和化学品的质量已有相应的标准和规范,但大多数都是针对最终产品的末端标准,对于各个组件的制造商来说,这些标准并不直接适用。在SEMI系列规范中,SEMI F57认证标准是一个从材料选择、生产过程、产品设计等方面提供规范和建议的文件,为超纯水和湿化学品输送系统材料的适用性评估提供了参考依据。




SEMI F57测试内容




SEMI F57测试涉及对产品的4个参数进行检测:




• 阴离子污染• 金属离子污染• 总有机碳(TOC)• 表面粗糙度


三氟莱,高纯氟塑料制品生产厂家,半导体工厂高纯PFA管供应商。


本文由三氟莱PFA管小姐姐原创,欢迎关注,带你一起长知识!


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