半导体行业中PFA入珠接头的重要性

2025-05-26

一、PFA入珠接头材料的核心特性


可熔性聚四氟乙烯(PFA)作为氟塑料的顶级材料,具备三项不可替代的优势:


化学惰性:可耐受氢氟酸、浓硫酸等200余种化学试剂(实验数据显示在40%氢氟酸中浸泡1000小时后拉伸强度保持率>95%)


超高纯度:经过特殊工艺处理的半导体级PFA,金属离子含量<1ppb,碳氢化合物析出量较普通氟塑料降低2个数量级


热稳定性:在-200℃至260℃工况下保持物理性能稳定,适应快速热循环工艺需求


二、PFA入珠接头在半导体制造中的三大核心应用


1、湿法工艺系统


在蚀刻、清洗等工序中,三氟莱PFA接头保障强腐蚀性药液的安全传输。


2、超纯水输送


满足18.2MΩ·cm超纯水标准,独特的珠状密封结构消除传统螺纹接口的滞留死角,使水系统TOC(总有机碳)含量稳定控制在0.5ppb以下。


3、特种气体控制


在CVD(化学气相沉积)设备中,其表面粗糙度Ra≤0.8μm的特性,有效防止气体分子在管壁吸附,使工艺气体利用率提升15%。


PFA接头 (32)-5.26.jpg


三、PFA入珠接头质量管控关键指标


优质PFA入珠接头需通过七项严苛认证:


SEMI F57/F75材料认证


ASME BPE 316L兼容性测试


USP Class VI生物安全性验证


1000小时双85测试(85℃/85%RH)


10G振动环境耐久性试验


50G机械冲击测试


100次热震循环


三氟莱,高纯氟塑料制品生产厂家,半导体工厂高纯PFA管供应商。


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佛山市三氟莱新材料有限公司(Foshan Sanfulai New Material Co., LTD. )主要是研发、生产、销售氟塑料制品,包括:半导体高纯PFA管、PFA棒、高纯PFA接头、高纯PFA阀门、高压铁氟龙编织管等。

专业、年轻、有梦想、行动力强的“三氟莱”团队在氟塑料加工行业有着丰富的经验。成立之初就定下公司的定位:“3F”。分别是:Focus on Fluoroplastic · Factory · Future。专注氟塑 · 智造工厂 · 锐意进取。公司希望共同探索高分子氟塑料在半导体行业、新能源(储能)领域和医药化工行业的全新可能性,开启高分子新材料细分的氟塑料产业产品国产化的新纪元,实现可持续发展。


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