一、晶圆清洗
在12英寸晶圆的制造流程中，每片晶圆需要经历300-500次化学清洗。PFA管在这一环节承担着输送超纯试剂的重任：
-可耐受10%浓度的HF溶液持续冲刷
-内壁粗糙度Ra值小于0.05μm，避免颗粒滞留
-金属离子溶出量低于0.1ppb，满足先进制程需求
二、光刻工艺
在ArF浸没式光刻机的配套系统中，PFA管负责输送关键的显影液：
-对PMMA光刻胶的溶出量小于0.001%
-可在60℃恒温环境下保持稳定流量
-内壁静电值控制在100V以下，防止颗粒吸附
三、刻蚀与薄膜沉积
在反应离子刻蚀（RIE）设备中，三氟莱PFA管需要承受以下严苛条件：
-200℃高温下的Cl₂/Ar等离子体冲刷
-50mTorr真空环境中的分子渗透
-每日20次以上的冷热循环冲击
四、超纯水系统
半导体级超纯水（UPW）的制备和输送堪称工程奇迹：
-电阻率达到18.2MΩ·cm 25℃
-总有机碳（TOC）低于5ppb
-颗粒计数（≥0.2μm）少于1个/mL
五、尾气处理
在废气处理系统中，PFA管承担着输送腐蚀性气体的重任：
-对NF₃的渗透率低于0.001g/m²·day
-可耐受-196℃的液氮速冻处理
-爆破压力超过10MPa，确保极端工况安全
三氟莱，高纯氟塑料制品生产厂家，半导体工厂高纯PFA管供应商。
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关于我们
佛山市三氟莱新材料有限公司（Foshan Sanfulai New Material Co., LTD. ）主要是研发、生产、销售氟塑料制品，包括：半导体高纯PFA管、PFA棒、高纯PFA接头、高纯PFA阀门、高压铁氟龙编织管等。
专业、年轻、有梦想、行动力强的“三氟莱”团队在氟塑料加工行业有着丰富的经验。成立之初就定下公司的定位：“3F”。分别是：Focus on Fluoroplastic · Factory · Future。专注氟塑 · 智造工厂 · 锐意进取。公司希望共同探索高分子氟塑料在半导体行业、新能源（储能）领域和医药化工行业的全新可能性，开启高分子新材料细分的氟塑料产业产品国产化的新纪元，实现可持续发展。
